Paso 3: La difusión bomba
La parte más integral de este sistema es la bomba de difusión, utilizada para aumentar el vacío pueden alcanzar niveles de más medios mecánicos. Una bomba de desbaste, el ovimiento General de los Estados Unidos la bomba tira el vacío áspero inicial necesario en la cámara y la bomba de difusión y la bomba de difusión entonces activa como la segunda etapa, aumentando el nivel de vacío final.
Esta bomba de difusión específico funciona encendido el principio de difusión de aceite para la eliminación de la molécula del gas, por que en la parte inferior de la bomba de difusión, aceite se hierve y el vapor viaja encima de la chimenea, y el vapor es expulsado hacia fuera para capturar tantas moléculas de gas posible y disparó hacia abajo hacia la salida de la bomba para llevar el gas a la bomba de vacío mecánica. Ahora, no queremos este aceite chapoteando en la cámara principal, así que hay un deflector refrigerado por líquido utilizado para enfriar y condensar el aceite antes de que puede obtener en la cámara.
Para mate esta bomba japonesa hecha a la cámara estándar de brida CF, necesitaba diseñar una placa de adaptador de aluminio. Yo solía una máquina CNC molino una placa del toolplate de MIC-6 para mantener una superficie perfectamente plana, como el anillo superficial debe ser perfectamente plana, sosteniendo el peso de la bomba y la cámara de acoplamiento.
