Una fotografía de la aguafuerte en una oblea de silicio (5 / 9 paso)

Paso 5: Exponer la oblea con el Photomask

A continuación aplica photoresist a una oblea de silicio fresco y expone la oblea a una corta ráfaga de luz UV intensa a través de la fotomáscara.

Preparación de la oblea:

Resistencia manual ruleta:

Cartilla: P-20: 3 rpm k, 1 k/s, 30 s

Fotoprotección: S1827: 3 rpm k, 1 k/s, 30 s

Placa:

Hornear @ 115 C para 1 min

Exposición:

EV620 En contacto con alineador:

Modo: Duro contacto

Tiempo: 5 s

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